|
Статус: | действующий (Введен впервые) |
|
Обозначение: | ГОСТ Р 8.635-2007 |
|
Название рус.: | ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки |
|
Дата актуализации текста: | 01.01.2009 |
|
Дата добавления в базу: | 29.04.2009 |
|
Дата введения в действие: | 01.08.2008 |
|
Разработан в: | ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" МФТИ (ГУ) |
|
Утверждён в: | Р (20.11.2007) |
|
Опубликован в: | Стандартинформ № 2008 |
|
Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. |
|
Оглавление: | 1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Технические требования
5 Требования к квалификации калибровщиков
6 Требования по обеспечению безопасности
7 Подготовка к процедуре калибровки
8 Процедура проведения измерений
9 Обработка результатов измерений
10 Оценка неопределенности измерений параметров
11 Оформление результатов калибровки
Библиография |
|
Ключевые слова: | длина рельефные меры нанометрового диапазона сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы методика калибровки |
|
Расположен в: |
|
|